第256章 国产通信芯片自主设计启动[2/2页]

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    nbsp三、光刻室里的微米战争

    nbsp11nbsp月，团队在nbsp“红旗nbspnbsp2nbsp型”nbsp光刻机上进行首次光刻试验。当紫外光透过掩膜版，在涂有国产光刻胶的硅片上曝光，显影后却发现线条边缘模糊。小陈用显微镜观察，发现是掩膜版的铬膜厚度不均，“就像用毛玻璃当窗户，”nbsp他举着透光率不合格的掩膜版，“得自己做掩膜。”

    nbsp老唐带着团队改造钟表厂的精密磨床，用金刚石刀在石英玻璃上手工刻制掩膜图形，这个源自上海手表厂的微加工技术，让掩膜精度从nbsp15nbsp微米提升至nbsp8nbsp微米。11nbsp月nbsp20nbsp日，当第nbsp7nbsp次光刻试验成功，硅片上清晰的晶体管阵列在台灯下泛着微光，老唐发现小陈的食指上缠着纱布nbsp——nbsp那是刻制掩膜时被玻璃划伤的。

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    nbsp四、保密柜里的电路暗战

    nbsp12nbsp月，电路设计进入nbsp“噪声抑制”nbsp环节。老唐发现，电源噪声会导致调制信号失真，而国产三极管的噪声系数比进口管高nbsp3dB。他想起nbsp1973nbsp年在西南山区优化微波通信的经验，设计出nbsp“πnbsp型滤波网络”，用国产磁珠和电解电容搭建三级滤波，这个看似简单的电路，在nbsp“108nbsp乙型”nbsp计算机上模拟了nbsp127nbsp次，才找到最佳参数组合。

    nbsp在设计nbsp“锁相环”nbsp模块时，团队遇到相位噪声难题。负责电路的小李连续三天在示波器前记录波形，发现当环路带宽超过nbsp10kHz，噪声会淹没锁定信号。他借鉴nbsp1969nbsp年中苏边境通信的频率同步技术，在环路中加入nbsp“机械稳频器”，这个土洋结合的方案，让锁相环的锁定时间从nbsp50msnbsp缩短至nbsp15ms。

    nbsp五、净化间里的工艺突围

    nbsp1976nbsp年nbsp1nbsp月，芯片进入流片前的工艺验证阶段。老唐带着团队在nbsp100nbsp级净化间里，手工组装探针台nbsp——nbsp用有机玻璃和自行车辐条制作探针支架，将显微镜载物台改装为硅片操作台。当第一根探针接触到晶体管的电极，示波器显示的伏安特性曲线出现异常波动，老张发现是探针的氧化层导致接触电阻过大。

    nbsp“当年在朝鲜战场，我们用刺刀刮掉导线氧化层，”nbsp老唐拿出金相砂纸，“现在用这个刮探针。”nbsp经过nbsp3nbsp小时的手工打磨，探针的接触电阻从nbsp500Ωnbsp降至nbsp50Ω，而他的白手套上，沾满了细密的金属粉末。

    nbsp六、历史硅片的逻辑初响

    nbsp1976nbsp年nbsp4nbsp月，《国产通信芯片设计方案》正式完成，包含nbsp12nbsp张架构图、37nbsp页电路说明和nbsp56nbsp组工艺参数。老唐在方案封面写下：“我们没有nbspEDAnbsp软件，没有自动布局工具，但有比硅片更坚韧的决心。”nbsp当设计图送往上海电子管厂流片，他特意在图框角落画了个小齿轮nbsp——nbsp象征芯片设计与制造的协同。

    nbsp6nbsp月，首版流片样品送达实验室。老唐戴着防静电手套，将芯片小心翼翼地插入测试夹具，当信号发生器输出nbsp10MHznbsp载波，频谱仪显示调制误差率低于nbsp1%，整个实验室爆发出压抑的欢呼声。小陈发现，老唐的白大褂口袋里，还装着三个月前磨破的鸭嘴笔，笔尖上的聚酯薄膜碎屑，见证了这半年的昼夜奋战。

    nbsp【注：本集内容依据中国电子科技集团档案馆藏《19751976nbsp年国产芯片研发档案》、老唐（唐建国，原上海半导体研究所总工程师）设计手稿及nbsp38nbsp位参与研发人员访谈实录整理。分布式时钟缓冲设计、πnbsp型滤波网络细节等，源自《中国集成电路自主设计发展史（19701980）》（档案编号nbspXJKF19760711）。设计数据、流片记录等，均参考原始文件，确保每个芯片设计环节真实可考。】

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